低碳复合能源系统技术服务平台重点设备

序号

设备名称

1

X射线衍射仪

2

X射线荧光光谱仪

3

6站物理吸附仪

4

场发射扫描电子显微镜

5

X光电子能谱仪

6

化学吸附仪

7

大电流化学综合测试仪

8

X射线衍射仪

9

显微拉曼成像光谱仪

10

立体显微摄像仪

11

三维粒子图像测速仪

12

傅里叶变换显微红外成像光谱仪

13

磁控溅射镀膜机

14

喷雾干燥仪

15

电化学综合测试系统

16

多腔室PECVD薄膜沉积系统

17

原子力显微镜

18

多靶磁控溅射系统

19

拉曼光谱仪